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    RMC系列匹配器

    適用于光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等領域。適用于等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等工藝。
    零售價
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    產品編號
    產品系列:
    RMC系列
    數量
    -
    +
    庫存:
    0
    產品描述
    參數
    型號定義
    主要參數

    ● 全數字控制,匹配精度高,匹配時間短
    ● 采用真空電容,可靠性高,使用壽命長
    ● 結構緊湊,體積小,安裝便捷
    ● 超寬匹配范圍,可定制適配任意負載
    ● 具有手動/自動匹配功能
    ● 具有保持和預置設定功能
    ● 具有通訊功能,可獨立連接上位機實時顯示負載狀態

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    輸入

    控制電壓:AC230V±10% 或 DC24V

    輸入接口:N型、HN、7/16

    頻率:13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

    傳輸功率:1.5kW~6kW

    射頻輸出電壓:4000Vpeak

    射頻輸出電流:25Arms~120Arms

    輸出

    輸出接口:7/16、B20N、銅排, 其他規格可定制

     

    性能指標

    匹配時間:A系:端對端<5s ,預設點到匹配點 1s~3s
    C系:端對端<3s ,預設點到匹配點 0.3s~2s

    駐波:A系:<1.2 C系:<1.1

    阻抗實部:1Ω~200Ω

    阻抗虛部:+200j~-200j

    負載類型:IPC 或CCP

    外形尺寸:根據客戶要求定制

    注:產品不斷創新,性能繼續提升,本參數說明僅供參考。

    四川英杰電氣股份有限公司

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